Dik za link. Je pravda, ze z praxe nemam vela informacii... Cim sa lisi elektronovy "osvit" od osvetlenia svetlom je to, ze povrch substratu sa neosvetluje cely naraz. Nemas ziadny "negativ" ako pri vyvolavani fotiek. Celu vzorku procesoru vykresluje niekolko (netusim, kolko sa ich pouziva, ale cca 10) elektronovych lucov cesticku po cesticke. Ze sa musi pouzit nejake cinidlo je mi jasne, len sa uz asi nevola foto lak.

Inak je to zaujimava diskusia, asi skusim niekde na nete pohladat o tom nejake clanocky. Apropos, celkom zaujimavy job mas. Az na ten SiH4.