tagze :
technologie vyroby polovodicov :
dopovanie primesami :
difuzia / prenikanie vplyvom teploty /
jonova implantacia / prenikanie vplyvom kinetickej energie vo VN Elektrickom poli/
leptanie :
mokré - kyseliny - fosforecna, sirova , fluorovodikova , nanostrip , mikrostrip , dusican , sirova ,
suche : plazma
nanasanie vrstien materialov :
epitaxný rast
CVD - chemical vapour deposition
PVD - physical vapour deposition
naprasovanie
suroviny : fosfín & diboran - bojové plyny , xylén , silan , arzín ,
hlinnik
opticke spracovanie / FOTOLITOGRAFIA /:
nanasanie laku - pozitivny,negativny
osvit cez masku : ortutove vybojky - pouzivane I a G ciary svetelneho spektra
osvit celej dosky - klasicky sposob
osvit casti dosky cca 12x12mm po krokoch - zariadenia STEPPERy
vyvolanie vo vývojke - negativna,pozitivna
no a medzitym cistenie , susenie , transport
a nakoniec pasivacia a brusenie zadnej strany na pozadovanu hrubku
hadam vam to tagto v ryxlosti bude stacit![]()






Odpověď s citací