Citace:
Původně odeslal Slavo
Citace:
Původně odeslal Pyroteam
Citace:
Původně odeslal Slavo
No, z mojho cisto laickeho pohladu vnutri waferu sa dosahuje radovo lepsej homogenity kremiku, nez pri krajoch. Dovod je prosty - povrch tahaneho monokrystalu je najviac ovplyvnovany okolim - necistotami, rozdielnou teplotou apod. Cize na krajoch je najviac poruch nielen v strukture, ale aj v zlozeni.
Zaujimave veci :-) Odkial to vies?
zo skoly
tagze : nehomogenita je jedna vec
stred je najlepsi pretoze rastie pod orientovanym zarodkom
a pocet defektov struktury sa zvysuje vzdialenostou od stredu
Potom sa do toho miesa este obrovske mnozstvo faktorov:
tepelne spracovanie : difuzia . žihanie , oxidacia - deformuje dosku
su ti sice hodnoty v desatinach mikrometrov ale je to tam
to sa potom odrazi na vsetkych operaciach napr. fotolitografickeho procesu /lakovanie. osvetlenie, vyvolanie / napr. nerovnomerne nanasanie foto laku
fakt... je to uplna Alchymia
& totog secko mam z praxe :)
Citace:
Původně odeslal globalkiller
Citace:
Původně odeslal Slavo
No, z mojho cisto laickeho pohladu vnutri waferu sa dosahuje radovo lepsej homogenity kremiku, nez pri krajoch. Dovod je prosty - povrch tahaneho monokrystalu je najviac ovplyvnovany okolim - necistotami, rozdielnou teplotou apod. Cize na krajoch je najviac poruch nielen v strukture, ale aj v zlozeni.
No co já vím,tak když ten lehce tekutej křemík protahujou přes ten čistící magnet kterej je okolo celýho válce ta je dost pochopitelný,že ty mikroskopický nečistoty (nějaký ty 0,00001% nečistot) zůstávaj u kraje.
P.S. Každý kdo chodí/chodil na průmku v posledních tak 15letech by to měl znát ze střední školy.
tahanie INGOTU .......
pokial sa idu vyrabat pre WAFERY napr s 100mm tag ma priemer ingotu cca 110mm a ten zostatok sa obrusi / dalsie necistoty /
dalsia vec je ze okraj dosky sa aj tag nevyuziva